Unité
Le Centre de MicroNanoTechnologie (CMi) de l'EPFL est une installation ultramoderne offrant des salles propres et des équipements de traitement avancés pour la formation et l'expérimentation scientifique en microtechnologies. Avec une mission de formation de base et de perfectionnement, d'accès au matériel de traitement des salles propres, de collecte et de partage de savoir-faire de pointe dans le domaine de la microtechnologie, CMi répond aux besoins de l'éducation, de la recherche scientifique et des processus de microfabrication. Le centre est géré par une équipe de spécialistes qui assurent la disponibilité et le fonctionnement de l'équipement de traitement, fournissent une formation aux utilisateurs et offrent un soutien technique. Les chercheurs de diverses disciplines de l'EPFL utilisent la salle blanche pour la recherche fondamentale sur les microstructures et nanostructures, les procédés de fabrication du silicium et d'autres matériaux, et le développement de nouveaux microsystèmes.