MEMS électrostatique: mise à l'échelle et actionnement

Cette séance de cours couvre la courbe de Paschen, qui relie la tension de claquage à la pression et à la distance dans l'air, expliquant le champ de claquage inférieur dans l'air et la tension maximale applicable dans l'air. Il explore la tension de claquage à 1 atmosphère, l'influence du champ électrique sur la constante de ressort effective et la comparaison des densités d'énergie entre différents principes d'actionnement. La séance de cours explore également l'actionneur électrostatique à plaques parallèles, en discutant de la position d'équilibre, de la constante de ressort efficace et des phénomènes d'extraction. Il se termine par des méthodes pour stabiliser les actionneurs électrostatiques afin d'augmenter la portée de contrôle et d'empêcher le pull-in.