Séance de cours
Stencil Lithographie: Nanometer Scale Patterning
Description
Cette séance de cours couvre les principes et les applications de la lithographie au pochoir pour la structuration à haute résolution à l'échelle nanométrique, y compris l'utilisation de masques d'ombre, de techniques sans résistance et de structuration directe. L'instructeur discute des défis tels que la stabilité de la membrane, le colmatage et les problèmes d'alignement dans la lithographie au pochoir.
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