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Method and device for determining plasma characteristics

Résumé

The invention relates to a method and a device for determining plasma characteristics, the method comprising the steps of: - arranging a measurement probe (2) having a self-inductance in proximity to a plasma (3) to establish inductive coupling between the plasma (3) and the measurement probe (2); - determining a mutual inductance (Mprobe/plasma) between the measurement probe (2) and the plasma (3); - depending on the mutual inductance (Mprobe/plasma), estimating a quantity representing the plasma complex conductivity (σ); and - deriving at least one plasma parameter from the plasma complex conductivity (σ).

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Concepts associés (20)
Inductance
Selon le théorème d'Ampère, tout courant parcourant un circuit crée un champ magnétique à travers la section qu'il entoure, c'est le phénomène d'induction électromagnétique. L'inductance de ce circuit est le quotient du flux de ce champ magnétique par l’intensité du courant traversant le circuit. L’unité SI de l’inductance est le henry (H), nom donné en l'honneur du physicien Joseph Henry. En toute rigueur ce terme n'a d’intérêt que pour les situations dans lesquelles le flux est proportionnel au courant.
Inducteur
L'inducteur est un organe électrotechnique, généralement un électroaimant (les aimants permanents étant généralement réservés aux dispositifs de faible puissance) ayant comme fonction d'induire un champ électromagnétique dans un induit servant à produire de l'énergie électrique (alternateur) ou une force (moteur) ou à chauffer des conducteurs comme des métaux de toutes sortes. Lorsque le courant circulant dans la bobine change, le champ magnétique variable dans le temps induit une force électromotrice (f.e.
Series and parallel circuits
Two-terminal components and electrical networks can be connected in series or parallel. The resulting electrical network will have two terminals, and itself can participate in a series or parallel topology. Whether a two-terminal "object" is an electrical component (e.g. a resistor) or an electrical network (e.g. resistors in series) is a matter of perspective. This article will use "component" to refer to a two-terminal "object" that participate in the series/parallel networks.
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