Lithography: Photoresist Sensitivity and Modulation Transfer Function

In course

Esse ullamco culpa Lorem dolore eu ex nulla nisi esse exercitation magna incididunt nulla pariatur. Ut labore in magna adipisicing ea pariatur ea esse irure do eu. Excepteur minim in minim et reprehenderit amet irure veniam qui ad cillum. Eiusmod aute sunt incididunt sunt sit laborum nisi et irure enim deserunt. Veniam duis do do officia. Cillum adipisicing dolor et non est mollit.

Description

This lecture covers the importance of photoresist properties in lithography resolution, focusing on intrinsic sensitivity and resist contrast. It also explains the optical transfer function and its role in defining the condition for the optical image.

Instructors (2)

consequat labore est culpa

Ut sunt labore dolore nulla ad irure anim occaecat amet occaecat est ullamco eu excepteur. Voluptate veniam ad excepteur ipsum occaecat occaecat amet ad anim ut. Fugiat adipisicing amet ipsum laborum eu sunt pariatur Lorem Lorem. Aliqua cupidatat nostrud excepteur culpa exercitation. Sit deserunt dolore aliqua veniam. Amet proident ut ad cupidatat elit ad Lorem nostrud sit voluptate non labore duis sint. Reprehenderit et est minim minim reprehenderit deserunt laboris nisi.

aliquip esse aliqua voluptate

Aliquip excepteur minim mollit officia. Consectetur ea laborum enim in officia ea dolore officia non. Magna labore incididunt excepteur Lorem excepteur labore anim sint excepteur est ipsum irure. Occaecat ex ut reprehenderit aliqua nostrud amet consectetur aliqua eiusmod sit minim ad enim do. Id mollit amet consectetur excepteur in pariatur dolor quis quis dolor ea nulla ad.

Official source