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Séance de cours
Lithographie: Sensibilité photorésistante et fonction de transfert de modulation
Description
Cette séance de cours couvre l'importance des propriétés de photorésist dans la résolution de la lithographie, en mettant l'accent sur la sensibilité intrinsèque et résister au contraste. Il explique également la fonction de transfert optique et son rôle dans la définition de la condition de l'image optique.
Source officielle
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