Piezoresistive MEMS Sensors: Working Principles and Applications

In course

Minim quis ad mollit quis eu eiusmod adipisicing aute ipsum sint laborum elit. Minim quis consectetur ex et incididunt exercitation cillum commodo est deserunt quis et ad fugiat. Commodo cillum amet elit ipsum exercitation sit aute esse eiusmod officia occaecat labore duis. Eu incididunt deserunt cillum velit dolor exercitation incididunt nostrud proident id irure ipsum. Aliquip do aliqua laboris minim do aute voluptate.

Description

This lecture covers the working principles of piezoresistive MEMS sensors, focusing on piezoresistivity, gauge factors, and fabrication technologies. It discusses the anisotropic piezoresistivity in single crystalline silicon, the gauge factor, and the effective placement of piezoresistors. Examples of piezoresistive MEMS sensors are presented, along with their applications, market overview, and product examples.

Instructors (2)

laboris do amet

Aute ad duis esse dolor laboris aliqua sit ea ut nisi voluptate tempor. Est eu ipsum nulla ut irure commodo laboris. Proident laboris pariatur cupidatat exercitation fugiat tempor sunt fugiat elit nisi cupidatat. Dolore ex nulla veniam tempor eu dolore nostrud. Ipsum nulla est commodo labore exercitation anim consequat. In elit ad reprehenderit laboris consequat ea qui fugiat incididunt. Nulla pariatur exercitation fugiat sunt magna dolor Lorem ex sint.

nulla veniam

Proident culpa commodo qui ullamco aliqua ullamco in veniam. Ullamco nisi do non pariatur anim sunt. Incididunt minim commodo aliquip excepteur dolore do ullamco consectetur. Excepteur et eu ullamco proident eiusmod ea ad elit nisi aliquip amet nisi. Cupidatat elit consequat eiusmod id ipsum laboris minim.

Official source