Séance de cours
Cette séance de cours couvre les principes de fonctionnement des capteurs MEMS piézorésistifs, en se concentrant sur la piézorésistivité, les facteurs de jauge et les technologies de fabrication. Il discute de la piézorésistivité anisotrope dans le silicium cristallin unique, le facteur de jauge, et le placement efficace des piézorésisteurs. Des exemples de capteurs MEMS piézorésistifs sont présentés, ainsi que leurs applications, une vue d'ensemble du marché et des exemples de produits.