Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.
Couvre les principes, les applications et les composants de la microscopie électronique à transmission (TEM), y compris les modes d'imagerie et les techniques avancées.
