Sebastian GautschSebastian Gautsch est adjoint du directeur de section Microtechnique depuis février 2021.Il a obtenu son diplôme en électronique physique de l'Université de Neuchâtel en Suisse en 1998. Il a effectué son doctorat dans le domaine des microsystèmes à l'Institut de Microtechnique (IMT) de l'Université de Neuchâtel en 2001. Sa thèse en collaboration avec le Jet Propulsion Laboratory (JPL) de la NASA, a mené à l'envoi d'un Microscope à Force Atomique (AFM) à bord de la mission sur Mars Phoenix en 2008. Ce projet a été relaté de manière fréquente dans les medias nationaux . En parallèle à ses activités de recherche, et après avoir poursuivi une carrière internationale en natation jusqu'en 2003, il a obtenu le certificat fédéral en coaching du sport en 2007 délivré par l'association Swiss Olympic. Il a entraîné l'équipe élite du Red-Fish Neuchâtel entre 2004 et 2009 et a mis sur pied le projet de promotion de la natation olympique dans le canton de Neuchâtel. Il fut membre de la délégation d'entraîneurs lors de plusieurs événements internationaux de natation et qualifia plus de 20 nageurs pour des championnats européens, mondiaux et les jeux Olympiques de Pékin en 2008. Entre 2004 et 2013 il a dirigé les activités de recherche dans le domaine des outils en nanoscience à l'Institut de Microtechnique de l'EPFL au sein du laboratoire des capteurs, actionneurs et microsystèmes (SAMLAB) de Prof. Nico de Rooij. En 2011, il a également dirigé les activités d'écritures par faisceau d'électrons au Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique (CSEM). Il fut à l'origine de la création de la Société Mars Suisse dont il est actuellement le vice-président. Entre 2011 et 2018, il a enseigné à la haute école spécialisée du canton de Berne (BFH) dans le domaine des microtechniques et techniques médicales. Entre 2012 et 2020 il fut responsable de la coordination des stages industriels pour étudiants Master à la faculté des sciences et techniques de l'ingénieur (STI). Dans cette fonction, il a mis sur pied les projets de master coordonnés en entreprise , la journée industrie de la faculté STI, et le label stages durables. Entre 2018 et 2020 il fut responsable des activités d'outreach de la faculté STI, avec notamment les stages de recherche d'été E3 et le workshop Engineering PhD Summit. Page de Publications Google Scholar:
Paul MuraltPaul Muralt received a diploma in experimental physics in 1978 at the Swiss Federal Institute of Technology ETH in Zurich. He accomplished his Ph.D. thesis in the field of commensurate-incommensurate phase transitions at the Solid State Laboratory of ETH. In the years 1984 and 1985 he held a post doctoral position at the IBM Research Laboratory in Zurich where he pioneered the application of scanning tunneling microscopy to surface potential imaging. In 1987, after a stay at the Free University of Berlin, he joined the Balzers group in Liechtenstein. He specialized in sputter deposition techniques, and managed since 1991 a department for development and applications of Physical Vapor Deposition and PECVD processes. In 1993, he joined the Ceramics Laboratory of EPFL in Lausanne. AS group leader for thin films and MEMS devices, he specialized in piezoelectric and pyroelectric MEMS with mostly Pb(Zr,Ti)O3 and AlN thin film. His research interests are in thin film growth in general, and more specifically in property assessment of small ferroelectric structures, in integration issues of ferroelectric and other polar materials, property-microstructure relationships, and applications of polar materials in semiconductor and micro-electro-mechanical devices. More recently he extended his interests to oxide thin films of ionic conductors. The focus in piezoelectric thin films was directed towards AlN-ScN alloys. He gives lectures in thin film processing, micro fabrication, and surface analysis. He authored or co-authored more than 230 scientific articles. He became Fellow of IEEE in 2013. In 2005, he received an outstanding achievement award at the International Symposium on Integrated Ferroelectrics (ISIF), and in 2016 the B.C. Sawyer Memorial award.
Chairman of the International Workshops on Piezoelectric MEMS(http://www.piezomems2011.org/) Hatice Altug2020-current Full Professor at the Institute of Bioengineering, EPFL, Switzerland2013-2020 Associate Professor (with tenure) at the Institute of Bioengineering, EPFL, Switzerland 2013 Associate Professor (with tenure) at Electrical and Computer Engineering Department of Boston University, USA 2007-2013 Assistant Professor (tenure-track) at Electrical and Computer Engineering Department of Boston University, USA 2007 Post-doctoral Fellow at Center for Engineering in Medicine of Harvard Medical School, USA 2000-2007 PhD. in Applied Physics at Stanford University, USA 1996-2000 B.S. in Physics at Bilkent University, Turkey
Cyrille HibertCyrille HIBERT received his diploma in Physics in 1994 and his PhD in 1998 from University of Orleans (FR). He then held a post doctoral position in GREMI laboratory at the University of Orleans in collaboration with Alcatel Vacuum Technology and ST Microelectronics, working in deep anisotropic etching of silicon with an Inductively Coupled Plasma reactor. In May 2000 he joined the EPFL-Center of Micro-Nano-technology where he was in charge of the plasma etching activities. He left EPFL in October 2003 for a sabbatical year to join the CFF group at NMRC (Ireland) now called Tyndall Institute. He worked on developing plasma processing. In October 2004, he came back to EPFL-CMI to be in charge of etching and nanotechnology activities (FIB and future ebeam litho).
