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Explore les mécanismes de défaillance dans les dispositifs MEMS, y compris le fluage, la fatigue et les défaillances électriques, et discute des stratégies d'atténuation.
Couvre les phénomènes physiques de transduction électrostatique, y compris l'accumulation de charge, la capacité et la force électrostatique, avec des exemples pratiques de capteurs et d'actionneurs.
Explore les matériaux diélectriques, la polarisation et les condensateurs, en se concentrant sur les charges liées et l'impact de la constante diélectrique.
Explore les condensateurs avec des matériaux diélectriques, analyse le stockage d'énergie et la différence de potentiel, démontrant des applications pratiques grâce à une démonstration de décharge.
Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
