Explore les mécanismes de défaillance dans les dispositifs MEMS, y compris le fluage, la fatigue et les défaillances électriques, et discute des stratégies d'atténuation.
Explore le comportement des dipôles électriques dans les champs, l'alignement, l'énergie potentielle, les isolants diélectriques, les plans métalliques et le criblage de champ.
Explore le traitement industriel du plasma, en mettant l'accent sur le transfert d'énergie entre les électrons et les ions, la loi de Paschen et l'interface plasma-paroi.
