PVD 3 : Sputtering et loi de Paschen

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Description

Cette séance de cours couvre les zones spatiales en décharge luminescente DC, y compris la lueur négative, la lueur d'anode et les espaces sombres, ainsi que les concepts de la loi de Paschen liés à la tension de claquage dans différents gaz et pressions de chambre.

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Concepts associés (26)

Décharge luminescente

Une décharge luminescente est un plasma formé par le passage d'un courant électrique de tension allant de à plusieurs kilovolts, au travers un gaz à basse pression, tel l'argon ou un autre gaz noble. Ce phénomène est utilisé dans des produits commerciaux tels la lampe néon et l'écran à plasma, ainsi que dans les sciences physiques de l'état plasma et la chimie analytique. Les premiers appareils basés sur ce phénomène ont été construits par Heinrich Geissler à partir de 1857.

Décharge de Townsend

droite|vignette|350x350px| Effet d'avalanche dans un gaz soumis à des rayonnements ionisants entre deux électrodes. La première ionisation libère un électron, et chaque collision ultérieure en libère un supplémentaire, de sorte que deux électrons émergent de chaque collision pour entretenir l'avalanche. Une décharge de Townsend ou avalanche de Townsend est un processus d'ionisation de gaz dans lequel des électrons libres, placés dans un champ électrique, sont accélérés.

Décharge partielle

Dans le domaine de l'électricité, une décharge partielle (DP) est une sous l'effet d'une forte tension (HTB ou HTA). Leur présence conduit à une dégradation accélérée de l'isolation qu'elle soit liquide, par oxydation, ou solide, par érosion. Les décharges ayant des valeurs de charges très faibles, des dispositifs de mesure complexes et exempts de parasite doivent être mis en œuvre. Des méthodes de traitement du signal sont en général utilisées dans ces appareils de mesure.

Tube de Crookes

thumb|upright=1.4|Photo d'un tube de Crookes. Les électrons circulent en ligne droite de la cathode, sur la gauche, mise en évidence par l'ombre portée de la croix sur la paroi fluorescente, à droite. L'anode est en bas. Un tube de Crookes est un des premiers tubes à décharge électriques expérimentaux, inventé par le physicien britannique William Crookes et d'autres entre les années 1869 et 1875 durant lesquelles les rayons cathodiques ont été découverts.

Pulvérisation cathodique

thumb|Pulvérisation cathodique magnétron en cours de dépôt de couche mince La pulvérisation cathodique (ou sputtering) est un phénomène dans lequel des particules sont arrachées à une cathode dans une atmosphère raréfiée. Elle est une des causes du vieillissement des anciens tubes électroniques, mais est également mise à profit comme méthode de dépôt de couche mince. Il s'agit dans ce cas d'une technique qui autorise la synthèse de plusieurs matériaux à partir de la condensation d’une vapeur métallique issue d’une source solide (cible) sur un substrat.