Séance de cours

PVD 3 : Sputtering et loi de Paschen

Dans cours

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Description

Cette séance de cours couvre les zones spatiales en décharge luminescente DC, y compris la lueur négative, la lueur d'anode et les espaces sombres, ainsi que les concepts de la loi de Paschen liés à la tension de claquage dans différents gaz et pressions de chambre.

Dans MOOCs (3)

Enseignants (2)

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