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PVD 3 : Sputtering et loi de Paschen

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Cette séance de cours couvre les zones spatiales en décharge luminescente DC, y compris la lueur négative, la lueur d'anode et les espaces sombres, ainsi que les concepts de la loi de Paschen liés à la tension de claquage dans différents gaz et pressions de chambre.

Source officielle

https://mediaspace.epfl.ch/media/0_s16iea6o

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