Parylène

Résumé

Le parylène ou polyparaxylylène ou poly (p-xylylène) est un film polymère biocompatible qui se dépose sous vide après évaporation et transformation de son précurseur. Cet article passe en revue la structure du motif du polymère qui constitue le parylène et qui explique comment son procédé de mise en œuvre unique est possible. Les propriétés de conformité et d'uniformité, d'isolation électrique et de barrière chimique, découlant de sa structure et de son procédé de mise en œuvre sont présentées. Ses propriétés optiques et de surface sont aussi exposées ainsi que les différents types de parylène. En effet, en modifiant le motif du polymère de parylène, les propriétés macroscopiques du revêtement s'en trouveront changées. Introduction Le film polymère de poly (p-xylylène), communément appelé parylène, a été découvert en 1948 par Szwarc ; la simplification de son processus de dépôt est due à Gorham en 1966. De nouveaux développements dans sa structure chimique ont ensuite été

Source officielle

https://fr.wikipedia.org/wiki/Paryl%C3%A8ne

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Publications associées (20)

Publications associées

Chargement

Personnes associées (4)

Personnes associées

Chargement

Unités associées (2)

Unités associées

Chargement

Concepts associés

Chargement

Cours associés (2)

Cours associés

Chargement

Séances de cours associées (4)

Afficher plus

Séances de cours associées

Chargement

In this project a new fabrication strategy for suspended microchannel resonators (SMRs) is described. SMRs are biosensing devices with the liquid flowing inside of them, allowing real time measurements of fluidic samples, while devices can be kept in dry environment. This project will investigate the use of Parylene C and Solid on Liquid Technology to facilitate SMRs fabrication process. More precisely, this report will cover two different processes. The first one based on a chemical trapping solution involving the use of a hydrophobic surface treatment. The second one based on the use of photoresist as a sacrificial material to define parylene microfluidic channel resonators. The results described in this project seeks to help the development of future processes in order to reduce the time and complications normally involved in the fabrication of SMRs.

2015

Chargement

Parylene-Based Hollow Nanomechanical Resonators For Bioapplications

Antoine Nicolas Désiré Aupée, Annalisa De Pastina, Tom Larsen, Luis Guillermo Villanueva Torrijo

We present the fabrication of parylene-based hollow nanomechanical resonators, following a simple two step fabrication process with a thermal budget of less than 120°C. This process is ideal for fast prototyping and compatible with most materials used in micro- and nano-fabrication. In particular, the example we present here shows a hybrid structure with silicon nitride and parylene, but we have also demonstrated compatibility with metallic electrodes and aluminum nitride piezoelectric layers.

2016

Chargement

Optimizing Parylene C Adhesion for MEMS Processes: Potassium Hydroxide Wet Etching

Joanna Katarzyna Bitterli, Herbert Keppner, Martha Liley, Philippe Renaud, Olha Sereda

Parylenes are used for a wide range of applications in microelectromechanical systems (MEMS) devices. However, their poor adhesion in a harsh liquid environment can limit the fabrication processes of complex MEMS and bioMEMS devices. Potassium hydroxide (KOH) wet etching is particularly challenging and was used to evaluate the adhesion of Parylene C on silicon, silicon nitride, and silicon dioxide substrates. Using a number of characterization procedures, this paper shows that the delamination is the result of liquid penetrating both at the Parylene-substrate interface and through the polymer layer. The combination of an adhesion promoter and a thermal treatment improves the adhesion of the layer. The treatment is evaluated in two case studies, where the Parylene is used as: 1) a biocompatible coating, and 2) as a mask to block the entrance of a microfluidics channel. In the first case, it is shown that the treatments, including the KOH exposure, do not influence the growth and proliferation of SaOS-2 cells, as compared to a generic Parylene layer. In the second case, the results show that Parylene can be used efficiently to block the entrance of the channel, and that it can be removed afterward.

Ieee-Inst Electrical Electronics Engineers Inc2013

Chargement