Ablation laser pulsé | EPFL Graph Search

Êtes-vous un étudiant de l'EPFL à la recherche d'un projet de semestre?

Travaillez avec nous sur des projets en science des données et en visualisation, et déployez votre projet sous forme d'application sur GraphSearch.

Découvrez-en plus sur les applications Graph.

L'ablation laser pulsé (en anglais Pulsed Laser Deposition ou PLD) est une méthode de dépôt en couches minces utilisant un laser de très forte puissance. Elle permet de facilement produire divers alliages binaires. Expérimentée pour la première fois en 1965, par H.M. Smith et A.F. Turner, la découverte de l'ablation laser pulsé fait suite aux récentes avancées concernant l'étude et la compréhension des phénomènes d'interactions entre les lasers et les surfaces solides. D'abord peu efficace, il faudra attendre près de vingt ans et d'importants progrès techniques (chambres à vides performantes, lasers plus puissants...), pour que D. Dijkkamp et al., parviennent, en 1987 à synthétiser pour la première fois des films minces de (oxyde supraconducteur) de grande qualité. L'intérêt croissant porté à ces nouveaux matériaux et la récente efficacité de la technique rendent alors possible sa démocratisation dans de nombreux laboratoires de recherche. Il existe une variante « à double laser » permettant dans la même enceinte d'utiliser un laser divisé en deux (par un miroir semi-réfléchissant, avant l’entrée dans la chambre à vide), de manière que les deux faisceaux arrivent avec un angle de 90° (l’un par rapport à l’autre) sur deux cibles de matériaux différents à ablater. Techniquement, les dépôts de couches minces par ablation laser pulsé sont fondés sur l'interaction entre le matériau cible que l'on souhaite déposer et un faisceau laser impulsionnel (impulsion de l'ordre de la nanoseconde) de forte énergie. Lors du processus d'irradiation laser, des particules sont éjectées de la cible. Dans un premier temps, confinées près de la surface de la cible, ces particules constituent ce que l'on appelle la couche de Knudsen. De mêmes dimensions que le spot laser (1 à 2 ), cette dernière est principalement composée d'ions, d'électrons, mais également d'atomes neutres, de particules diatomiques ou encore de gouttelettes de matériaux en fusion... Relativement dense ( à particules.

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Publications associées (3)

Personnes associées (6)

Unités associées (2)

Concepts associés (5)

Cours associés (12)

Séances de cours associées (100)

MOOCs associés (3)

Anthropogenic emissions to the atmosphere have increased the flux of nutrients, especially nitrogen, to the ocean, but they have also altered the acidity of aerosol, cloud water, and precipitation over much of the marine atmosphere. For nitrogen, acidity-driven changes in chemical speciation result in altered partitioning between the gas and particulate phases that subsequently affect long-range transport. Other important nutrients, notably iron and phosphorus, are affected, because their soluble fractions increase upon exposure to acidic environments during atmospheric transport. These changes affect the magnitude, distribution, and deposition mode of individual nutrients supplied to the ocean, the extent to which nutrient deposition interacts with the sea surface microlayer during its passage into bulk seawater, and the relative abundances of soluble nutrients in atmospheric deposition. Atmospheric acidity change therefore affects ecosystem composition, in addition to overall marine productivity, and these effects will continue to evolve with changing anthropogenic emissions in the future.

AMER ASSOC ADVANCEMENT SCIENCE2021

Optimisation of laser parameters to produce construction materials by Selective Laser Sintering

Gözde Tunçer

2011

Amplification in epitaxially grown Er:(Gd, LU)(2)O-3 waveguides for active integrated optical devices

Yury Kuzminykh, Sebastian Heinrich

Monocrystalline lattice matched Er(0.6 at. %): (Gd, LU)(2)O-3 films with nearly atomically flat surfaces and thicknesses up to 3 Am have been grown on Y2O3 substrates using pulsed laser deposition. The emission cross sections were comparable with the ones of Er:Y2O3 bulk crystals, showing only a marginal spectral broadening. Rib channel waveguiding could be demonstrated after structuring the films with reactive ion etching. Gain measurements have been performed and the results compared with a theoretical gain spectrum. A gain of 5.9 dB/cm could be measured at 1535.5 nm through in-band pumping at 1480 nm. The scattering losses in such a 7 mm long rib waveguide have been determined to be below 4.4 dB at 632.8 nm. An extrapolation to the gain wavelength with the lambda(-4)-Rayleigh law of scattering resulted in losses of 0.2 dB/cm at 1.5 mu m. (C) 2008 Optical Society of America

2008

Ablation laser pulsé

Couche mince

Une couche mince () est un revêtement dont l’épaisseur peut varier de quelques couches atomiques à une dizaine de micromètres. Ces revêtements modifient les propriétés du substrat sur lesquels ils sont déposés. Ils sont principalement utilisés : dans la fabrication de composants électroniques telles des cellules photovoltaïques en raison de leurs propriétés isolantes ou conductrices ; pour la protection d'objets afin d'améliorer les propriétés mécaniques, de résistance à l’usure, à la corrosion ou en servant de barrière thermique.

Pulvérisation cathodique

thumb|Pulvérisation cathodique magnétron en cours de dépôt de couche mince La pulvérisation cathodique (ou sputtering) est un phénomène dans lequel des particules sont arrachées à une cathode dans une atmosphère raréfiée. Elle est une des causes du vieillissement des anciens tubes électroniques, mais est également mise à profit comme méthode de dépôt de couche mince. Il s'agit dans ce cas d'une technique qui autorise la synthèse de plusieurs matériaux à partir de la condensation d’une vapeur métallique issue d’une source solide (cible) sur un substrat.

Micro and Nanofabrication (MEMS)

Learn the fundamentals of microfabrication and nanofabrication by using the most effective techniques in a cleanroom environment.

Microstructure Fabrication Technologies I

Learn the fundamentals of microfabrication and nanofabrication by using the most effective techniques in a cleanroom environment.

Micro and Nanofabrication (MEMS)

Learn the fundamentals of microfabrication and nanofabrication by using the most effective techniques in a cleanroom environment.

Nanofabrication with focused charged particle beams (SEM, FIB) and their applications such as lithography, gas assisted deposition / etching, and milling are discussed and the limitations of these pro

Intro into the relation between physical and structural properties; introduction into different X-Ray techniques; examples of successful technological transfer using X-Ray techniques; Structural prope

The student will learn procedures and applications of modern microfabrication technologies, as practiced in a clean room environment, in particular modern techniques that go beyond the classical steps

Dépôt chimique en phase vapeur: formation d'oxyde et ALD MICRO-621: MOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)MOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)

Explore les processus CVD pour la formation d'oxyde et ALD en micro et nanofabrication.

Matériel électronique à grande surface : Introduction MICRO-566: Large-area electronics: devices and materials

Introduit des documents électroniques de grande envergure, en discutant des avantages, des forces motrices, des TCO, des applications et des défis.

Sputtering dans CMi MICRO-621: MOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)MOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)

Couvre le fonctionnement d'un outil de pulvérisation cathodique en grappe et le processus de modification des cibles de pulvérisation cathodique.