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Description

Cette séance de cours explique le fonctionnement d'un outil de pulvérisation en grappe avec quatre chambres de dépôt, permettant le transfert de plaquettes sans casser le vide. Il détaille le processus de changement des cibles de pulvérisation et les différences entre le magnétron RF et la pulvérisation magnétron DC.

Dans MOOCs (3)
Micro and Nanofabrication (MEMS)
Learn the fundamentals of microfabrication and nanofabrication by using the most effective techniques in a cleanroom environment.
Microstructure Fabrication Technologies I
Learn the fundamentals of microfabrication and nanofabrication by using the most effective techniques in a cleanroom environment.
Micro and Nanofabrication (MEMS)
Learn the fundamentals of microfabrication and nanofabrication by using the most effective techniques in a cleanroom environment.
Enseignants (2)
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