Séance de cours
Cette séance de cours présente Scanning Probe Microscopy (SPM), couvrant son histoire, la comparaison avec d'autres techniques de microscopie, les avantages et les défis. Il explique les principes de SPM, y compris Quantum Tunneling, et discute du développement d'instruments SPM comme le Stylus Profilometer et le Piezo Scanner. La séance de cours explore également l'application de la SPM dans la recherche et l'industrie des semi-conducteurs, en mettant l'accent sur la haute résolution spatiale et les capacités d'imagerie 3D qu'elle offre.