Plasmes industriels : applications et chimie

Cette séance de cours couvre les applications et la chimie des plasmas industriels, y compris la médecine du plasma, les phénomènes de panne, la gaine et la gravure du plasma en microélectronique, et le plasma avec électrodes isolantes pour les grands écrans et les cellules solaires. Il examine également les défis de la chimie du plasma, les différents types de réactions dans les plasmas et la difficulté de la chimie du plasma par rapport à la fusion. La séance de cours explore les concepts de réactions volumétriques en phase gazeuse, de réactions gazeuses/surfaces et de transport des espèces vers les surfaces. En outre, il se retrouve dans l'exemple d'un plasma d'oxygène simple et les concepts de collisions élastiques et inélastiques dans les plasmas.