Séance de cours
Cette séance de cours couvre la formation du plasma de la décharge de Townsend à la lueur et aux arcs, expliquant la transition des décharges non autosuffisantes aux décharges autosuffisantes. Elle s'enfonce dans la création de gaines, en discutant des flux thermiques ion et électronique, des interactions plasma-mur, et de l'équilibre des flux ion et électronique vers la paroi. La séance de cours explore également les applications de la gravure au plasma, soulignant l'importance du flux directionnel d'ions pour la gravure anisotrope cruciale dans la fabrication moderne de circuits intégrés.