Spectroscopie à rayons X dispersive

Cette séance de cours couvre les principes et les applications de la spectroscopie à rayons X à dispersion d'énergie (EDX), une technique utilisée pour l'analyse élémentaire. Il explique comment les rayons X sont émis par un échantillon, la détection des pics caractéristiques de rayons X et les méthodes de quantification dans SEM. La séance de cours traite également de l'efficacité de la génération de rayons X, des transitions interdites et du processus d'ionisation. En outre, il explore la détection des rayons X, le fonctionnement des détecteurs de silicium et l'analyse spectrale EDX. La séance de cours se termine par un accent sur le processus de quantification, les méthodes de correction et l'importance des taux de comptage élevés pour des mesures précises.