Microanalyse à rayons X dispersive énergétique: Principes fondamentaux et applications

Cette séance de cours présente la microanalyse à rayons X à dispersion d'énergie (EDX), une technique d'analyse élémentaire basée sur la spectroscopie à rayons X. Il explique comment EDX fonctionne en stimulant l'émission de rayons X caractéristiques d'un échantillon à l'aide de particules chargées, permettant de mesurer la composition élémentaire. La séance de cours couvre des sujets tels que la génération de rayons X, l'ionisation de la coquille centrale, l'efficacité de la génération de rayons X et les méthodes de quantification. Il traite également de la détection des rayons X à l'aide de détecteurs comme Si (Li) et des défis dans EDX, tels que les artefacts et les dilemmes de quantification. La séance de cours se termine par des systèmes EDX modernes, des techniques de cartographie et l'utilisation de simulations Monte-Carlo pour l'analyse EDX.