Cette séance de cours couvre les différents modes de croissance dans la croissance des films, y compris le mode couche par couche 2D et le mode îlot 3D, ainsi que la structure cristalline des films. Il traite de la stabilité des interfaces film-substrat, du dépôt de Ti sur SiO2 et de la détermination si un film sera amorphe, polycristallin ou monocristallin en fonction des matériaux utilisés. La séance de cours présente également le modèle de zone de Thornton pour la pulvérisation des métaux, expliquant les zones et leurs effets sur la structure du film.