Micro et Nanofabrication : Inspection et Métrologie

Cette séance de cours couvre les variations de microscopie optique telles que le champ lumineux, le champ sombre et le contraste d'interférences différentielles, utilisées pour l'inspection et la mesure de dimensions en micro et nanofabrication. Il explique les bases d'un microscope optique, la configuration et les différents modes de fonctionnement. La séance de cours traite également de l'étalonnage des outils de métrologie, y compris la mesure des dimensions XY et Z, et le processus de vérification des résultats des processus de micro et nanofabrication.