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Séance de cours
Capteurs thermiques: Mesure de pression
Description
Cette séance de cours couvre l'utilisation de capteurs thermiques pour la mesure de la pression, expliquant comment les changements de pression affectent la conductivité thermique et la construction de capteurs MEMS. Il traite également des limites de la mesure de la pression à différents niveaux de pression, de la nécessité d'étalonnage des capteurs et de l'utilisation de jauges d'ionisation dans les systèmes à ultra-vide.
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