SEM Basics: Paramètres d'imagerie

Cette séance de cours couvre les bases de la microscopie électronique à balayage (MEB), en se concentrant sur les paramètres d'imagerie tels que l'optimisation du temps d'exposition, la résolution, le contraste, l'éclairage et le choix du détecteur. Il explique comment les images SEM sont générées étape par étape grâce à un balayage séquentiel de l'échantillon, contrôlé par des bobines de balayage. La séance de cours traite également de l'impact de l'accélération de la tension sur la profondeur et le signal de pénétration, de la génération de différents types de signaux (SE, ESB, rayons X) et des défis rencontrés dans l'imagerie SEM, y compris les dommages causés par le faisceau, les effets de charge et les stratégies pour les atténuer.