Technologies SEM avancées et exemples

Cette séance de cours couvre la dernière génération de technologies de microscopie électronique à balayage (MEB), y compris la basse tension, l'imagerie à haute résolution, les monochromateurs à canon à émission de champ et divers détecteurs. Il explore les conceptions de lentilles, les amplificateurs de faisceau et les techniques de décélération du faisceau, ainsi que l'observation d'échantillons non métalliques avec des dommages de faisceau réduits. La présentation explore également les lentilles d'immersion, les configurations en lentille et semi-en lentille, et la détection d'électrons secondaires et d'électrons rétrodiffusés. L'instructeur présente des exemples d'inversion de contraste à basse tension, les effets de la charge et l'importance de la préparation des échantillons pour le SEM analytique. La séance de cours se termine par une discussion sur les capacités analytiques de SEM, telles que la spectroscopie de rayons X à dispersion d'énergie (EDX) et la diffraction de rétrodiffusion d'électrons (EBSD).