Résonateurs à ondes acoustiques en vrac dans MEMS

Cette séance de cours couvre la conception et la fabrication de résonateurs à ondes acoustiques en vrac (BAW), en se concentrant sur leur application dans les smartphones pour les modules frontaux RF. Il explique la structure des résonateurs BAW, le processus de fabrication et l'importance d'une épaisseur précise et de bonnes propriétés piézoélectriques. La séance de cours traite également des deux types de résonateurs BAW, FBAR et SMR, et de leur rôle dans la sélection des bandes de télécommunications. Les principaux acteurs de l’industrie et l’utilisation généralisée des filtres BAW dans les smartphones, tels que l’iPhone 6S, sont mis en évidence.