Nanoscale MEMS: Fabrication, Conseils et Microscopie

Cette séance de cours couvre la fabrication de dispositifs MEMS nanométriques, y compris la microfabrication de nanotips inspirés par la nature et les bases de l'oxydation thermique. Il s'inscrit également dans le fonctionnement du Microscope de Force Atomique (AFM) et du microscope de tunnel à balayage (STM) pour mesurer les ultra-petites forces sur les particules. La présentation explore le processus de fabrication de bouts très pointus grâce aux techniques d'oxydation et de moisissure, ainsi que l'utilisation de la microfabrication standard pour créer des objets précis nanométriques. Différentes méthodes d'affûtage des bouts et des moules sont discutées, ainsi que l'importance d'utiliser le contrôle de diffusion et l'anisotropie etch pour des caractéristiques nanométriques rentables.