Techniques de microfabrication: Conseils et capteurs

Cette séance de cours porte sur les techniques de microfabrication pour la création de nanotips et de capteurs, y compris l'affûtage d'oxydation, les bouts moulés et les MEMS/NEMS nanométriques. Il explique la fabrication de nanotips à l'aide de procédés de gravure, d'oxydation et de dépôt, en soulignant l'importance de la microfabrication standard pour des caractéristiques précises de nanoéchelle. La séance de cours traite également des modes de contact dans la microscopie de la force de balayage/microscopie de la force atomique, des forces impliquées dans l'AFM, des forces capillaires et des applications de l'AFM dans l'imagerie du graphène. Des capteurs et actionneurs intégrés sont explorés, mettant en évidence les avantages de la compacité et du fonctionnement parallèle. L'utilisation de cantilevers piézoélectriques pour la microscopie à balayage à grande vitesse et les systèmes parallèles SPM avec plusieurs sondes est également présentée.