Séance de cours
Cette séance de cours couvre les technologies avancées de microscope électronique à balayage (MEB), y compris l'imagerie basse tension, le MEB haute résolution et des exemples d'applications de MEB. Les sujets abordés comprennent les détecteurs dans les colonnes, le nettoyage au plasma, les techniques de polissage et les SEM environnementaux de dernière génération. La séance de cours traite également de l'utilisation des canons à émission de champ, des monochromateurs et des amplificateurs de faisceau pour l'imagerie à haute résolution. En outre, il explore les capacités analytiques de SEM, telles que les détecteurs de rayons X à dispersion d'énergie (EDX) et les détecteurs de diffraction de rétrodiffusion d'électrons (EBSD). Divers exemples démontrent les applications pratiques du SEM dans la science des matériaux et la nanotechnologie.