Explore la courbe de Paschen, la tension de claquage, la constante de ressort efficace, les densités d'énergie et la stabilisation des actionneurs électrostatiques.
Couvre les phénomènes physiques de transduction électrostatique, y compris l'accumulation de charge, la capacité et la force électrostatique, avec des exemples pratiques de capteurs et d'actionneurs.
Explore les technologies de capteurs dans MEMS, en se concentrant sur les capteurs de pression, les accéléromètres et les gyroscopes, et souligne l'importance de la fusion des capteurs.
