MEMS électrostatique: DEA et entraînements à peignes

Cette séance de cours couvre la conception et le fonctionnement des dispositifs MEMS électrostatiques, en se concentrant sur les actionneurs élastomères diélectriques (DEA) et les entraînements à peignes. Les diapositives discutent des principes derrière DEA, y compris la densité d'énergie et la tension maximale, ainsi que la combinaison de DEA avec Electro-Adhesion pour une force de maintien élevée. En outre, la séance de cours explore le concept d'actionneurs à compression électrostatique pour réduire la tension tout en maintenant le déplacement. L'utilisation des entraînements à peignes est expliquée en détail, en soulignant leurs avantages par rapport aux MEMS à plaques parallèles, tels que la sensibilité linéaire et les capacités de déplacement importantes. Des exemples d'applications MEMS, tels que des réseaux accordables et des gyroscopes MEMS, sont également présentés.