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Séance de cours
MEMS Packaging: Techniques et Considérations
Description
Cette séance de cours couvre l'emballage des systèmes micro-électromécaniques (MEMS), y compris les techniques de collage, les niveaux d'emballage, les rôles d'un emballage et les problèmes majeurs. Il traite du collage de plaquettes, du collage anodique, du collage thermo-compression, de la fritte de verre, du soudage et des colles adhésives pour les emballages MEMS.
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