Séance de cours
Cette séance de cours couvre l'utilisation de profilés de surface mécaniques pour la mesure de l'épaisseur de film sur les dispositifs MEMS, en se concentrant sur un porte-à-faux bi-morphe avec des films minces chromés. Il explore également l'application de la microscopie à force atomique (AFM) pour caractériser les propriétés de surface à haute résolution, démontrant sa capacité à mesurer la rugosité de surface et à fournir des images de surface 3D. La séance de cours met l'accent sur les avantages de l'AFM par rapport aux méthodes traditionnelles, telles que sa résolution latérale élevée et sa force de contact non dommageable, ce qui le rend adapté aux surfaces fragiles.