Résonateurs et oscillateurs MEMS

Cette séance de cours couvre le développement des résonateurs et des oscillateurs MEMS, en se concentrant sur leur intégration avec les circuits CMOS, les défis de linéarité, la gestion de la puissance et la stabilité de la fréquence. Il traite du remplacement du quartz par des résonateurs en silicium, du fonctionnement du résonateur électromécanique, des structures de poutres métallisées, des circuits équivalents et des résonances série/parallèle. La séance de cours explore également les stratégies d'intégration CMOS, les techniques d'amélioration de la stabilité de fréquence, les méthodes de compensation de dérive de température et l'emballage à l'échelle des plaquettes de résonateurs. Il se termine par des discussions sur les résonateurs en mode vrac et en mode vrac dans le plan, la transduction électrostatique interne et l'importance du couplage avec le piézoélectrique pour l'avancement du résonateur.