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Cette séance de cours couvre la conception et la fabrication de microphones MEMS, en se concentrant sur les microphones MEMS capacitifs utilisés dans les smartphones. Il explique les composants d'un microphone MEMS, le rôle de la chambre arrière dans les performances acoustiques et le processus de fabrication impliquant le micro-usinage de surface et en vrac. L'application des microphones MEMS dans les smartphones, y compris les fonctions de prise de parole et d'annulation du bruit, est également discutée.