Capteurs capacitifs MEMS: Principes de travail

Cette séance de cours couvre les principes de fonctionnement des capteurs capacitifs MEMS, en se concentrant sur la détection de mouvement et les condensateurs différentiels. Il explique comment les condensateurs changent de capacité pour détecter le mouvement, le concept d'entraînement différentiel pour les signaux de détection et la conception de condensateurs différentiels avec peignes. L'instructeur discute des applications des microphones MEMS dans les produits de consommation, de l'évolution des marchés des microphones MEMS et de l'impact de la technologie MEMS sur les smartphones. En outre, la séance de cours explore le processus de fabrication des microphones MEMS, les stratégies d'entrée de son et l'utilisation de matériaux piézoélectriques dans la technologie MEMS.