Publication

Low voltage electrostatic 90° turning flap for reflective MEMS display

Nico de Rooij, Wilfried Noell, Fabio Jutzi, François Gueissaz
2010
Article de conférence

Résumé

A low voltage electrostatically actuated 90° turning flap is modeled and fabricated. The application is a new kind reflective, low-power, MEMS-based display with high contrast and reflectance. The system consists of a poly-silicon flap fabricated onto a silicon substrate with a transparent counter electrode on glass and a device layer of a silicon-on-insulator (SOI) wafer as spacer in between them. Actuation voltages down to 20V are achieved.

Source officielle

https://infoscience.epfl.ch/record/170089?ln=fr

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Graph Chatbot

Chattez avec Graph Search

Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.

AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.

Connectez-vous pour utiliser Chat avec Graph Search

Low voltage electrostatic 90° turning flap for reflective MEMS display

Graph Chatbot

Chattez avec Graph Search

Bodily implant microelectrode and bodily implant microelectrode fabrication method

In Situ Reflectometry and Diffraction Investigation of the Multiscale Structure of p-Type Polysilicon Passivating Contacts for c-Si Solar Cells

Optimized electrochemical breakdown etching using temporal voltage variation for formation of nanopores in a silicon membrane

In Situ Reflectometry and Diffraction Investigation of the Multiscale Structure of p-Type Polysilicon Passivating Contacts for c-Si Solar Cells

Bodily implant microelectrode and bodily implant microelectrode fabrication method

Optimized electrochemical breakdown etching using temporal voltage variation for formation of nanopores in a silicon membrane