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This paper reports an alternative simple fabrication process for twin gate junctionless Vertical Slit Field Effect Transistors. N-type devices have been successfully manufactured on SOI substrates with a doping density 5×1018 atoms/cm3. The devices demonstrate up to six decades of Ion/Ioff ratio and a sub- threshold swing of 90 mV/decade relative to a slit width of approximately 10 nm.
Mohammad Samizadeh Nikooytabalvandani
Mihai Adrian Ionescu, Kirsten Emilie Moselund, Clarissa Convertino