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Plateforme des Salles blanches
Service généralLa Plateforme des chambres blanches de l'EPFL offre de vastes installations de micro- et nano-fabrication et de caractérisation, y compris des salles propres de laboratoire III V spécialisées, dépôt de films minces, gravure à sec, lithographie, microscopie électronique et à force atomique. Ces installations sont ouvertes aux chercheurs intéressés d'autres instituts de l'EPFL. Pour accéder à la salle propre, les chercheurs doivent avoir réussi le cours d'introduction au CMi et soumettre une demande de formation avec leur flux de processus. La salle propre est située dans les zones 50, 51 et 52 du bâtiment PH. La plateforme fournit également des équipements tels que SEM, des outils de photolithographie, des machines de gravure à sec, des systèmes de dépôt de films minces et divers équipements de métrologie à des fins de recherche.