Stress en couches minces : croissance et microfabrication des films

Cette séance de cours couvre le stress dans les films minces, y compris les contraintes extrinsèques et intrinsèques, la distribution uniforme des contraintes et les gradients de contraintes. Il traite également de facteurs tels que les coefficients de dilatation, le module de Young, le rapport de Poisson et la dilatation thermique. La séance de cours explore en outre l'inadéquation du réseau, les vides, les atomes étrangers et l'impact du bombardement pendant le dépôt sur les niveaux de stress. En outre, il plonge dans l'équation de Stoney, les formes concaves et convexes, et leurs effets sur le stress du film. La présentation se termine par un résumé de la croissance du film, en se concentrant sur l'arrivée des atomes, l'interface film-substrat, l'adhésion, les modes de croissance, la structure cristalline et les contraintes dans les films minces, le tout dans le contexte de la micro et de la nanofabrication (MEMS).