Inspection et métrologie : caractérisation électrique des couches minces

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Description

Cette séance de cours couvre l'évaluation de la qualité et de la résistance des films minces en utilisant diverses techniques de métrologie telles que la microscopie optique et les résistivimètres. Il explique la méthode de mesure à 4 points de Van der Pauw pour évaluer la qualité du film métallique et calculer la résistivité. La séance de cours traite également de la mesure de la résistivité Cr dans les structures bimorphes et du calcul de la résistance Cr en fonction des dimensions. En outre, il explore l'utilisation d'une station de sonde pour la caractérisation électronique et l'importance d'une conception de modèle de test appropriée pour éviter l'épuisement du dispositif et assurer un contact ohmique.

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Séances de cours associées (32)

Concepts associés (6)

vignette| Schéma de l'estimation de la résistance de contact par la (TLM). La résistance de contact fait référence à la contribution à la résistance totale d'un circuit électrique qui peut être attribuée aux interfaces de contact des conducteurs et connexions électriques, par opposition à la résistance intrinsèque. Cet effet est décrit par le terme résistance électrique de contact (REC ou ECR, de l'anglais electrical contact resistance) et résulte des zones limitées de contact réel avec une interface et de la présence de films de surface résistifs ou de couches d'oxydes.

The electrical resistance of an object is a measure of its opposition to the flow of electric current. Its reciprocal quantity is , measuring the ease with which an electric current passes. Electrical resistance shares some conceptual parallels with mechanical friction. The SI unit of electrical resistance is the ohm (Ω), while electrical conductance is measured in siemens (S) (formerly called the 'mho' and then represented by ℧). The resistance of an object depends in large part on the material it is made of.

La loi d'Ohm est une loi physique empirique qui lie l'intensité du courant électrique traversant un dipôle électrique à la tension à ses bornes. Cette loi permet de déterminer la valeur d'une résistance. La loi d'Ohm a été ainsi nommée en référence au physicien allemand Georg Simon Ohm qui la publie en 1827, dans son œuvre Die galvanische Kette: mathematisch bearbeitet. On note : U la tension aux bornes de la résistance ; I l’intensité du courant qui circule à travers la résistance ; R la valeur de la résistance.

thumb|upright=.3|Représentation symbolique d'un ohmmètre dans un circuit Un ohmmètre est un instrument de mesure qui permet de mesurer la résistance électrique d'un composant ou d'un circuit électrique. L'unité de mesure est l'ohm, dont le symbole est Ω. Deux méthodes peuvent être utilisées pour mesurer la valeur d'une résistance : Mesure d'une tension avec un générateur de courant ; Mesure d'un courant avec un générateur de tension. Un générateur de courant impose une intensité I à travers la résistance inconnue R, on mesure la tension V apparaissant à ses bornes.

Electrical resistivity (also called volume resistivity or specific electrical resistance) is a fundamental specific property of a material that measures its electrical resistance or how strongly it resists electric current. A low resistivity indicates a material that readily allows electric current. Resistivity is commonly represented by the Greek letter ρ (rho). The SI unit of electrical resistivity is the ohm-metre (Ω⋅m).