MEMS et l'inspection des salles propres

Cette séance de cours couvre l'inspection et la métrologie des dispositifs MEMS dans des environnements propres, en mettant l'accent sur les techniques de caractérisation optique et électrique, la caractérisation des films minces et les méthodes de mesure avancées telles que SEM, FIB et AFM. Il traite également de l'étude scientifique de la mesure, de l'étalonnage, des normes et de la validation des appareils pour s'assurer qu'ils répondent aux spécifications de conception. L'instructeur donne un aperçu de l'importance de la métrologie pour garantir la fonctionnalité de l'appareil et partage des ressources pour une exploration plus poussée.