Résumé
vignette|Intérieur de la chambre à ultra-vide d'un microscope à effet tunnel.|alt=Photo de matériel scientifique à l'intérieur d'une enceinte prise par un hublot. L'ultravide est un niveau de vide très poussé, caractérisé par des pressions généralement inférieures à ou (soit , ou environ ). L'air dans une chambre à ultra-vide est donc des billions () de fois plus rare que dans l'atmosphère terrestre, dont la pression est de l’ordre de . Les techniques d'ultravide sont très utilisées dans la recherche, en microscopie et spectroscopie. Le régime de vide supérieur à l'ultravide est nommé extrême-vide et constitue la limite basse des pressions du domaine de l'ultravide, à . Atteindre des pressions très basses nécessite des développements techniques nombreux : il faut non seulement des pompes capables de raréfier suffisamment l'air, mais aussi des enceintes et des matériaux capables de maintenir le niveau de vide et des capteurs suffisamment performants et précis pour détecter le niveau de vide atteint. vignette|Photographie d'une chambre à vide en 1913 : Kristian Birkeland, fait la démonstration du phénomène des aurores à l'aide d'une Terrella plongée dans le vide. La chambre est constituée d'un socle et d'un couvercle en acier de et de parois de verre de maintenues par des piliers de bronze.|alt=Photo ancienne en noir et blanc d'un homme penché vers une boîte transparente contenant une sphère. La recherche du vide a pris son essor avec les premières lampes à incandescence. On utilise alors la pompe à mercure qui permet d'atteindre aisément des pressions de l'ordre de (environ ) dans les années 1910, tandis que les jauges, telles que la jauge de Knudsen ou celle de sont capables de mesurer difficilement jusqu'à (environ ). En combinant les différentes pompes, il devient possible d'atteindre un niveau de vide de (environ ), qui devient mesurable lorsque les jauges sont utilisées avec beaucoup de précautions. L'invention de la lampe à filament de tungstène amène à accélérer la recherche de niveaux de vide très faibles du fait du noircissement de l'ampoule durant l'utilisation.
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