Concept

Spectrométrie de masse des ions secondaires

Résumé
La spectrométrie de masse des ions secondaires est un procédé d'analyse de surface connu sous le nom de SIMS, d'après l'acronyme anglais signifiant secondary ion mass spectrometry, qui consiste à bombarder la surface de l'échantillon à analyser avec un faisceau d'ions. L'échantillon est alors pulvérisé, et une partie de la matière pulvérisée est ionisée. Ces ions secondaires sont alors accélérés vers un spectromètre de masse qui permettra de mesurer la composition élémentaire, isotopique ou moléculaire de la surface de l'échantillon. Le SIMS est la technique d'analyse de surface la plus sensible, mais présente plus de difficultés dans l'interprétation quantitative précise que d'autres techniques. Histoire L'histoire du SIMS est largement développée dans le livre Secondary Ion Mass Spectrometry: Basic Concepts, Instrumental Aspects, Applications, and Trends référencé dans cet article. Les premières observations de la pulvérisation ionique ont été faites par Thomson en 1910.
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