HexafluoroéthaneL'hexafluoroéthane est un perfluorocarbure de formule brute . Il s'agit d'un gaz incolore et inodore plus lourd que l'air, non combustible, très peu soluble dans l'eau mais davantage dans l'éthanol. C'est un puissant gaz à effet de serre, dont le potentiel de réchauffement global (GWP) est de 9200, avec un forçage radiatif de et une durée de vie dans l'atmosphère terrestre estimée à ; son potentiel de déplétion ozonique (ODP), en revanche, est nul.
TétrachlorométhaneLe tétrachlorométhane ou tétrachlorure de carbone est un composé chimique chloré de formule brute : . À pression et température ambiante, c'est un liquide incolore, très volatil dont les vapeurs sont nocives pour les êtres vivants. C'est aussi un polluant dangereux pour la couche d'ozone. Il a longtemps été utilisé pour la synthèse de fluides frigorifiques et comme solvant. Son utilisation diminue depuis plusieurs décennies à cause de contraintes environnementales et toxicologiques.
Fluorure d'hydrogèneLe fluorure d'hydrogène est un gaz incolore de formule chimique HF (un atome d'hydrogène (H) et un atome de fluor (F)). Il a une odeur piquante, il est très corrosif et très facilement liquéfiable. Théoriquement, le fluorure d'hydrogène devrait être un gaz difficilement liquéfiable or il est liquide à température ambiante. Cette anomalie est due au fait que le fluorure d'hydrogène se présente sous forme dimérisée (HF)2. La molécule de fluorure d’hydrogène HF est une molécule diatomique constituée d’un atome d’hydrogène H et d'un atome de fluor F, liés par une liaison simple.
Gravure (microfabrication)La gravure (aussi appelée parfois par son nom anglophone, etching) est un procédé utilisée en microfabrication, qui consiste à retirer une ou plusieurs couches de matériaux à la surface d'un wafer. La gravure est une étape critique, extrêmement importante, lors de la fabrication d'éléments de microélectronique, chaque wafer pouvant subir de nombreuses étapes de gravure. Pour chaque étape de gravure, une partie du wafer est protégée de la gravure par une couche protectrice qui résiste à cette gravure.
BenzèneLe benzène est un composé organique de formule brute C6H6, également noté Ph-H, φ-H, ou encore φ-H. Il appartient à la famille des hydrocarbures aromatiques monocycliques, car le cycle formé par les six atomes de carbone est plan et comporte six électrons délocalisés. Dans les conditions usuelles, le benzène est un liquide incolore, d'odeur caractéristique, volatil, très inflammable et cancérogène.
PolytétrafluoroéthylèneLe polytétrafluoroéthylène (sigle PTFE) est un fluoropolymère issu du tétrafluoroéthylène. Ce polymère technique a été découvert par hasard en 1938 par le chimiste Roy J. Plunkett (1910-1994) qui travaillait pour la société américaine E.I. du Pont de Nemours and Company, appelée couramment « du Pont de Nemours » et officiellement abrégée en « DuPont ». Il fut introduit commercialement en 1949. Il est commercialisé sous les marques déposées Téflon, Hostalen, Hostaflon, Fluon ou Soreflon.
Gaz fluoréLes gaz fluorés font partie de la catégorie des fluorocarbures (FC). Ce sont des gaz à effet de serre et/ou qui dégradent la couche stratosphérique d'ozone qui protège la vie terrestre d'un excès d'ultraviolets. Ils sont communément classés en cinq catégories : les chlorofluorocarbures (CFC) ; les hydrochlorofluorocarbures (HCFC) ; les hydrofluorocarbures (HFC) ; les perfluorocarbures (PFC) ; l'hexafluorure de soufre (). Il existe aussi d'autres catégories de gaz fluorés, moins présentes sur le plan environnemental : les bromofluorocarbures ; les éthers fluorés ; le trifluorure d'azote ().
