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Concept
Résine photosensible
Résumé
La résine photosensible (appelée aussi photorésine et parfois photorésist) est un matériau photosensible utilisé dans de nombreux procédés industriels, comme la photolithographie ou la photogravure, afin de former un revêtement protecteur ajouté à la surface d'un substrat.
Les résines photosensibles peuvent être classées en deux groupes, les résines « positives » et les résines « négatives » :
une résine « positive » est un type de résine photosensible pour laquelle la partie exposée à la lumière devient soluble au révélateur et où la partie de résine photosensible non exposée reste insoluble ;
une résine « négative » est un type de résine photosensible pour laquelle la partie exposée à la lumière devient insoluble au révélateur et où la partie de résine photosensible non exposée reste soluble.
Les résines photosensibles sont habituellement utilisées à des longueurs d'onde dans le spectre ultraviolet ou plus courtes encore (< ). Ainsi par exemple, le DNQ absorbe entre approximativement. Les bandes d'absorption peuvent être assignées aux (S0-S1) et p-p* (S1-S2) dans la molécule de DNQ. Dans l'ultraviolet lointain, la transition dans le benzène ou dans les chromophores à doubles liaisons carbonées se situent autour de . Comme la plupart des transitions d'absorption nécessitent de plus grandes différences d'énergie, l'absorption tend à croître avec les longueurs d'onde les plus courtes (c'est-à-dire, présentant une plus grande énergie). Les photons dont l'énergie est supérieure au potentiel d'ionisation de la résine photosensible (soit typiquement de l'ordre de ) peuvent aussi relâcher des électrons pouvant être responsables d'une exposition supérieure de la résine. De environ, la photoionisation des électrons « de valence » externes est le principal mécanisme d'absorption. Au-delà de , l'ionisation des électrons internes et les transitions Auger deviennent plus importants. L'absorption de photons commence à décroître lorsque l'on approche de la région des rayons X, lorsque de moins en moins de transitions Auger sont autorisées pour les énergies photoniques les plus élevées relativement.
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