Résine photosensible | EPFL Graph Search

Êtes-vous un étudiant de l'EPFL à la recherche d'un projet de semestre?

Travaillez avec nous sur des projets en science des données et en visualisation, et déployez votre projet sous forme d'application sur GraphSearch.

Découvrez-en plus sur les applications Graph.

La résine photosensible (appelée aussi photorésine et parfois photorésist) est un matériau photosensible utilisé dans de nombreux procédés industriels, comme la photolithographie ou la photogravure, afin de former un revêtement protecteur ajouté à la surface d'un substrat. Les résines photosensibles peuvent être classées en deux groupes, les résines « positives » et les résines « négatives » : une résine « positive » est un type de résine photosensible pour laquelle la partie exposée à la lumière devient soluble au révélateur et où la partie de résine photosensible non exposée reste insoluble ; une résine « négative » est un type de résine photosensible pour laquelle la partie exposée à la lumière devient insoluble au révélateur et où la partie de résine photosensible non exposée reste soluble. Les résines photosensibles sont habituellement utilisées à des longueurs d'onde dans le spectre ultraviolet ou plus courtes encore (< ). Ainsi par exemple, le DNQ absorbe entre approximativement. Les bandes d'absorption peuvent être assignées aux (S0-S1) et p-p* (S1-S2) dans la molécule de DNQ. Dans l'ultraviolet lointain, la transition dans le benzène ou dans les chromophores à doubles liaisons carbonées se situent autour de . Comme la plupart des transitions d'absorption nécessitent de plus grandes différences d'énergie, l'absorption tend à croître avec les longueurs d'onde les plus courtes (c'est-à-dire, présentant une plus grande énergie). Les photons dont l'énergie est supérieure au potentiel d'ionisation de la résine photosensible (soit typiquement de l'ordre de ) peuvent aussi relâcher des électrons pouvant être responsables d'une exposition supérieure de la résine. De environ, la photoionisation des électrons « de valence » externes est le principal mécanisme d'absorption. Au-delà de , l'ionisation des électrons internes et les transitions Auger deviennent plus importants. L'absorption de photons commence à décroître lorsque l'on approche de la région des rayons X, lorsque de moins en moins de transitions Auger sont autorisées pour les énergies photoniques les plus élevées relativement.

À propos de ce résultat

Cette page est générée automatiquement et peut contenir des informations qui ne sont pas correctes, complètes, à jour ou pertinentes par rapport à votre recherche. Il en va de même pour toutes les autres pages de ce site. Veillez à vérifier les informations auprès des sources officielles de l'EPFL.

Publications associées (9)

Personnes associées (19)

Unités associées (1)

Concepts associés (15)

Cours associés (15)

Séances de cours associées (89)

MOOCs associés (3)

Integration of Ultra-Low Volume Pneumatic Microfluidics with a Three-Dimensional Electrode Network for On-Chip Biochemical Sensing

Carlotta Guiducci, Saurabh Tomar, Thomas Ernst

This paper reports a novel miniaturized pseudo reference electrode (RE) design for biasing Ion Sensitive Field Effect Transistors (ISFETs). It eliminates the need for post-CMOS processing and can scal

2021

MAGNETIC NANOCRYSTAL MODIFIED EPOXY PHOTORESIST FOR MICROFABRICATION OF AFM PROBES

Jürgen Brugger, Cristina Martin Olmos

Nanocomposites based on an organic polymer and inorganic nanocrystals (NCs) represent a class of high impact functional materials able to convey the unique size and shape dependent properties of nano-

2010

Micro-Four-Point probe based on SU-8 cantilevers

Stephan Keller

The four-point probe is used for the measurement of the resistivity of thin metal or semiconductor films. There is an interest in miniaturization of the probes to obtain higher surface sensitivity, an

2005

Masque photographique

A photomask is an opaque plate with transparent areas that allow light to shine through in a defined pattern. Photomasks are commonly used in photolithography for the production of integrated circuits (ICs or "chips") to produce a pattern on a thin wafer of material (usually silicon). Several masks are used in turn, each one reproducing a layer of the completed design, and together known as a mask set. For IC production in the 1960s and early 1970s, an opaque rubylith film laminated onto a transparent mylar sheet was used.

Ultraviolet

vignette|redresse=1.5|Diagramme montrant le spectre électromagnétique dans lequel se distinguent plusieurs domaines spectraux (dont celui des UV) en fonction des longueurs d'onde (avec des exemples de tailles), les fréquences correspondantes, et les températures du corps noir dont l'émission est maximum à ces longueurs d'onde. Le rayonnement ultraviolet (UV), également appelé « lumière noire » parce que généralement invisible à l’œil nu, est un rayonnement électromagnétique de longueur d'onde inférieure à celle de la lumière visible, mais supérieure à celle des .

Semi-conducteur

Un semi-conducteur est un matériau qui a les caractéristiques électriques d'un isolant, mais pour lequel la probabilité qu'un électron puisse contribuer à un courant électrique, quoique faible, est suffisamment importante. En d'autres termes, la conductivité électrique d'un semi-conducteur est intermédiaire entre celle des métaux et celle des isolants. Le comportement électrique des semi-conducteurs est généralement modélisé, en physique de l'état solide, à l'aide de la théorie des bandes d'énergie.

Learn the fundamentals of microfabrication and nanofabrication by using the most effective techniques in a cleanroom environment.

The goal of this course is to introduce students to the practical aspects of some basic micro-fabrication techniques.

This course gives the basics for understanding nanotechnology from an engineer's perspective: physical background, materials aspects and scaling laws, fabrication and imaging of nanoscale devices.

Micro- and nanofabrication can be taught to students and professionals by textbooks and ex-cathedra lectures, but the real learning comes from seeing the manufacturing steps as they happen. This MOOC

Soin des sols solides : principes et exemples

Explore le processus de durcissement des sols solides, son mécanisme de consolidation, ses avantages et ses applications dans la fabrication additive.

Jet photopolymère

Explore le jet de photopolymère, une technique d'impression 3D utilisant le photorésist et le durcissement UV.

Lithographie: Sensibilité photorésistante et fonction de transfert de modulation

Discute des propriétés du photorésist dans la résolution de la lithographie et du rôle de la fonction de transfert optique.