Concept
Résine photosensible
Séances de cours associées (63)
Lithographie: Sensibilité photorésistante et fonction de transfert de modulationMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Discute des propriétés du photorésist dans la résolution de la lithographie et du rôle de la fonction de transfert optique.
Préparation de la conception et de la fracture: lithographie à faisceau d'électronsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les processus de préparation de conception, de fracture et de lithographie par faisceau d'électrons en nanofabrication.
Fabrication de masque clipMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Présente les étapes pratiques de la fabrication d'un masque pour la lithographie UV.
Traitement direct de la lumière: DLP
Explore la technologie de traitement de la lumière numérique (DLP), en la comparant à la stéréolithographie (SLA) et à Polyjet, en discutant de ses processus, de ses matériaux et de ses applications.
Technologie de fabrication
Couvre l'intégration de processus dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris le processus à double puits, les méthodes d'isolation, l'ajustement de la tension de seuil et la formation de siliciure.
Fabrication additive: résolution et vitesse de construction
Explore la résolution et la vitesse de fabrication dans la fabrication additive, la stéréolithographie, la micro-stéréolithographie, les comparaisons de coûts, la personnalisation des articles et les structures de support.
Lithographie par faisceau d'électrons: Corrections d'effets de proximitéMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les corrections de l'effet de proximité dans la lithographie par faisceau d'électrons pour les petites et grandes caractéristiques, en soulignant l'importance de la modélisation de la fonction d'étalement du point de faisceau.
Soin des sols solides : principes et exemples
Explore le processus de durcissement des sols solides, son mécanisme de consolidation, ses avantages et ses applications dans la fabrication additive.
Lithographie: Nanoscale Patterning Techniques
Explore les fondamentaux de la lithographie, les défis de la nanofabrication et les techniques de structuration avancées pour la production à haute résolution.
Dépôt de vapeur physique: Techniques d'évaporationMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.