vignette|Combinaison avec masque typique des salles blanches.
Une salle blanche (parfois dénommée salle propre selon l'usage et certaines spécificités) est une pièce ou une série de pièces où la concentration particulaire est maîtrisée afin de minimiser l'introduction, la génération, la rétention de particules à l'intérieur, généralement dans un but spécifique industriel ou de recherche scientifique.
Les paramètres tels que la température, l'humidité et la pression relative sont également maintenus à un niveau précis.
Ce type de salle est régi par une norme à deux niveaux : la norme ISO 14664 donne les exigences techniques générales, la norme ISO 14644-1 précise le volume de prélèvement d'air en échantillon de contrôle en fonction de la classe attendue afin de maintenir la conformité de l'ISO 14644.
Le principe de la salle blanche a été imaginé par le physicien Willis Whitfield en 1960, alors employé par les Laboratoires Sandia, qui remarqua que ses expériences pouvaient varier de manière significative en fonction des mouvements imprévus de l'air.
Il fut rapidement surnommé Mister Clean. Après sa mort, Willis Whitfield a été inscrit au National Inventors Hall of Fame.
Les salles propres sont utilisées dans les domaines sensibles aux contaminations environnementales : la fabrication des dispositifs à semi-conducteurs, les biotechnologies et d'autres domaines de la biologie, l'industrie agroalimentaire, généralement dans les salles de tranchage, la construction d'engins spatiaux, la préparation des produits pharmaceutiques stériles, la construction d'optique ou de micro-mécanismes, dans les hôpitaux pour les bloc opératoires ou de bactériologie. Ces salles sont également utilisées dans le cadre de la recherche médicale, par exemple pour la fabrication de radioéléments.
Dans ces domaines, les objets et substances manipulés ont des tailles de l'ordre du micromètre ou du nanomètre et les particules présentes dans l'air non purifié peuvent être bien plus grosses et se fixer dessus.
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The student will learn process techniques and applications of modern micro- and nanofabrication, as practiced in a clean room, with a focus on silicon, but also multi-material microsystems and flexibl
Micro- and nanofabrication can be taught to students and professionals by textbooks and ex-cathedra lectures, but the real learning comes from seeing the manufacturing steps as they happen. This MOOC
The student will learn procedures and applications of modern microfabrication technologies, as practiced in a clean room environment, in particular modern techniques that go beyond the classical steps
Couvre les méthodes permettant d'atteindre une grande pureté de l'air dans les environnements de salles blanches pour les processus de microfabrication.
alt=Micro-sculpture - Microlight3D|vignette|La « plus petite sculpture du monde », micro-autoportrait de l'artiste plasticien Michel Paysant imprimé en 3D avec une machine utilisant la technique de polymérisation à deux photons. La microfabrication est l'ensemble des techniques de fabrication permettant de produire des dispositifs avec des structures de l'ordre du micromètre et en dessous.
Un filtre HEPA est un filtre à air à haute efficacité (acronyme de l'anglais high-efficiency particulate air signifiant « [filtre] à particules aériennes à haute efficacité »), on utilise également l'expression « filtre THE » (signifiant « très haute efficacité »). La dénomination HEPA s'applique à tout dispositif capable de filtrer, en un passage, au moins 99,97 % des particules de diamètre supérieur ou égal à . Les particules de dimension de l'ordre de sont les plus difficiles à filtrer.
La résine photosensible (appelée aussi photorésine et parfois photorésist) est un matériau photosensible utilisé dans de nombreux procédés industriels, comme la photolithographie ou la photogravure, afin de former un revêtement protecteur ajouté à la surface d'un substrat.
The understanding and manipulation of nanoscale analytes is a central theme in nanotechnology and has been one of the main driving forces behind the development of this field as we know it today. Furthermore, such a technology has the potential to also rev ...
This project presents a microfabrication method for new generation particle detectors. This microsystem is supposed to detect ionizing radiation such as alpha particles, beta particles, and gamma rays. This project aims to miniaturized the otherwise well k ...
In this master thesis, the use of MEMS technology to miniaturize existing accelerometers used for vibration sensing is demonstrated. An updated process flow was established and carried out in the cleanrooms. MEMS piezoelectric accelerometers were fabricate ...