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Concept
Technologie du vide
Résumé
La technologie du vide regroupe l'ensemble des solutions pour produire, réguler et mesurer le vide.
Elle permet d'accéder à des pressions inférieures à la pression atmosphérique et a de nombreuses applications industrielles. Cette technologie implique la fabrication d'enceintes étanches, desquelles sont extraits les gaz qui s'y trouvent. La pression est réduite jusqu'à approcher le vide, caractérisé par l'absence de toute matière.
En pratique, il n'est pas possible d'atteindre le vide parfait. On parle alors de « qualité du vide » pour préciser la gamme de pression atteinte.
Pompe à vide
La pompe est choisie en fonction de différents paramètres : le volume à pomper, les matériaux composant la chambre à vide (selon leur taux de désorption), le type de gaz à extraire, ou encore la qualité du vide (vide poussé ou non) que l'on veut obtenir.
Une jauge à vide est un manomètre permettant de mesurer les très basses pressions.
Il en existe plusieurs types :
Jauge piezo-électrique ;
Jauge capacitive à membrane ;
Jauge à thermocouple (désormais souvent remplacée par les jauges de Pirani) ;
Jauge de Pirani et micropirani ;
Jauge à ionisation à cathode froide (jauge de Penning) ;
(Bayart-Alpert).
La vanne est un mécanisme séparant plusieurs sections d'un tuyau, permettant d'obstruer ou de laisser libre la circulation d'un fluide.
Vanne à papillon
Vanne à soufflet
Vanne à boisseau sphérique (pour vide primaire)
Vanne à tiroir.
La qualité du vide obtenu dépend des types de matériaux et des systèmes de fixations choisis : la qualité des fixations influence l'étanchéité du système et les taux de désorption varient selon les matériaux.
Pour des vides primaires (100 – 0,1 Pa, voir Vide (physique)), on utilise des matières organiques telles que le fluoroélastomère et le butadiène-acrylonitrile. Le fluoroélastomère est plus perméable à l'hélium et a une durée de vie plus longue (résistance aux ultraviolets).
Pour des vides secondaires (0,1 - 10 Pa), on préfère les métaux (cuivre, indium).
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