Séance de cours
Techniques de microfabrication: Conseils pour la nanofabrication MEMS
Description
Cette séance de cours couvre les techniques de microfabrication pour créer des bouts tranchants utilisés dans les MEMS de nanofabrication. Parmi les sujets abordés, mentionnons la fabrication de sondes STM, la microfabrication de bouts AFM et les bases de l'oxydation thermique. Le processus de fabrication des bouts pointus, les forces impliquées dans la microscopie de force atomique, et l'importance de la netteté des bouts sont discutés en détail.
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